空気中試料観測用電子顕微鏡の可能性 第2報
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概要
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現在電子ビームは、工業製品の加工や分析機器など多数の分野で利用されている。従来電子ビームを利用するには、その対象物を真空中に置くことが前提であり、その不便さが電子ビームの多くの用途を制限してきた。しかし、高速電子ビームはBe(ベリリウム)膜やTi(チタン)膜を通して容易に取り出すことができ、これを利用して工業的に産業材料の加工や表面処理などに利用され始めている。そこで我々は、分析機器への応用として空気中に電子ビームを取り出して使用する分析機器の実現可能性について検討した。本報はその第2報である。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-03-27
著者
-
小寺 正敏
大阪工業大学
-
菅 博
大阪工大
-
趙 剛
大阪工業大学工学部電子工学科
-
菅 博
大阪工業大学
-
熊野 秀昭
大阪工業大学工学部電子工学科
-
来島 利幸
大阪工業大学工学部電子工学科
-
来島 利幸
大阪工業大学
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