面内磁化形磁気光学結晶(LuNdBi)_3(FeAl)_5O_<12>のArスパッタエッチングによる損失増加
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概要
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非相反移相効果を用いた光アイソレータ実現のために開発した(LuNdBi)_3(FeAl)_5O_<12>(LNB)膜は、TiマスクによりArスパッタエッチングを施してリブ導波路を形成すると大きな伝搬損失を示す。本報告では、エッチングにより損失が増加した膜の表面層に存在する構成元素の結合状態をX線光電子分光法(XPS)により分析したので、これについて述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
著者
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