LSIプロセス診断法の開発 : デバイス構造解析を用いた信頼性評価
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概要
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LSIの信頼性評価法として, LSIプロセス診断法を開発した. この方法はLSIのプロセス設計や製造上の不具合をデバイス構造観察から検出し, 故障に至る危険性を評価する方法で, 危険度を客観的に評価するために診断結果をまとめたデータベース, 故障解析結果, メーカの管理基準, 理論式などを用いている. デバイス構造内に存在する不具合は多くの良品デバイスからも観察され, 同一不具合が故障解析でも認められることからこの診断はLSIの信頼性評価として有効な方法である. この用途としてユーザのデバイス選定や受入評価, メーカのプロセスの作り込みなどが考えられる.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-09-26
著者
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岡 克己
沖エンジニアリング株式会社信頼性技術部
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今井 美樹
沖エンジニアリング株式会社 信頼性技術第1部
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味岡 恒夫
沖エンジニアリング株式会社信頼性技術部
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田中 大起
沖エンジニアリング株式会社信頼性技術部
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野田 克史
沖エンジニアリング株式会社信頼性技術部
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味岡 恒夫
沖エンジニアリング(株)
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野田 克史
沖エンジニアリング(株)
-
味岡 恒夫
沖エンジニアリング
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今井 美樹
沖エンジニアリング(株)
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