表面分析技術について
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概要
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材料や部品の品質や故障解析に分析が重要な役割を演じているが、表面分析方法やデータの解釈が適切でなく、問題解決に至らないこともある。ここでは分析法を理解するための一環として基本的な原理や特徴をまとめた。分析は部品や材料の物性を決める基本的要素の調査と定義すると形態(形状)観察と元素、化学構造、結晶構造などの状態分析に大別できる。ビームを用いた元素分析では1次ビームと2次ビームの相違により基本的な特徴が決まる。情報の深さ、1次ビームの大きさ、検出限界、深さ分布の可能性、定量性、化学構造の可能性、ダメージ、チャージアップなどがそれである。したがって、分析法をビームの種類などから理解し、分析目的や試料の材質や構造により適切の方法を選択することが重要である。
- 日本信頼性学会の論文
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