LSIプロセス診断の信頼性評価への適用

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概要

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• 我々は、LSIデバイスを評価する方法として「LSIプロセス診断」を開発した。この方法は高信頼性が要求されるデバイスユーザで採用、受入試験として用いられることが前提となっていた。しかし、実際には、特殊(専用)LSIデバイスメーカおよびユーザに利用されるケースが多い。そこで、低コストで効果的な評価方法が要求される。LSIプロセス診断を信頼性試験(ストレス加速試験)と併用することにより効果的な信頼性評価ができる。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1998-09-25

著者

• 今井 美樹

  沖エンジニアリング株式会社 信頼性技術第1部

• 味岡 恒夫

  沖エンジニアリング株式会社信頼性技術部

• 味岡 恒夫

  沖エンジニアリング(株)

• 味岡 恒夫

  沖エンジニアリング

• 今井 美樹

  沖エンジニアリング(株)

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