モンテカルロデバイスシミュレーションにおけるエネルギー分布関数の高精度化手法

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概要

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• モンテカルロ(MC)デバイスシミュレーションにおける統計性ノイズを抑える手法として、Split-and-Remove(SR)法を提案する。SR法は実空間とエネルギー空間をいくつかの領域に分割し、MC粒子を分割(split)または除去(remove)することにより各領域のMC粒子数を調整する手法である。MC粒子の分布情報を必要としないので並列処理に適するという特徴がある。さらに、エネルギー分布の変化に応じてエネルギー空間の各領域の大きさを自動調整し、エネルギー分布の予測が難しい場合にも安定した精度向上を可能とした。この手法を用いてMOSFETのドレイン端のエネルギー分布関数を求めたところ、全MC粒子数を増加させることなく、統計性ノイズの少ないエネルギー分布関数が得られた。また、この手法がキャリア濃度分布などの物理量に悪影響を与えないことを確認した。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1995-09-13

著者

• 田中 克彦

  MIRAI-Selete

• 田中 克彦

  NECマイクロエレクトロニクス研究所

• 松本 比呂志

  NECマイクロエレクトロニクス研究所

• 重田 一樹

  NECマイクロエレクトロニクス研究所

• 飯塚 貴弘

  NECマイクロエレクトロニクス研究所

• 加藤 治男

  NEC ULSIデバイス開発研究所

• 松本 比呂志

  Necエレクトロニクス

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