A-11-20 SiO_2膜を用いた2.4GHz AlN/α-Al_2O_3構造SAWデバイス温度特性補償

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1999-03-08

著者

• 坪内 和夫

  東北大学電気通信研究所

• 苫米地 秀一

  東北大学電気通信研究所

• 益 一哉

  東北大学電気通信研究所

• 三枝 茂人

  東北大学電気通信研究所

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