広帯域光変調器構成の為のLiNbO_3薄板構造
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概要
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近年LiNbO_3(LN)光変調器の広帯域化が注目され、積極的に研究が行われてきた。広帯域化の課題は、主に光とマイクロ波との速度整合及び電極の導体損失であった。この解決法としてはLN基板の薄板化や、バッファ層及び電極の厚膜化が有効であることが判っており、現在では後者の手法が定着している。またリッジ構造を組み合わせることにより、変調効率等の向上も行われている。しかしバッファ層の存在は、マイクロ波の速度向上となる反面、動作電圧の増加原因となることが判っている。これに対してLN基板の薄板化は、バッファ層無しに速度整合可能となる点で有利であるが、加工が難しく実験例の報告は殆ど無かった。そこで今回、加工が容易となる広帯域LN薄板構造を検討し、マイクロ波特性の良好な実験結果を得たので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
著者
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