エッジ型ウォームキャア素子の94GHz帯検波特性
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概要
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ミリ波からサブミリ波帯の検出素子に点検接触ウォームキャリア素子がある。この素子はアンテナで受信した信号を電流-電圧特性の非線形性により検波する素子で、室温動作、高速応答素子として注目されている。しかし、その構造は、立体構造であるため機械的振動に弱いなどの欠点がある。そこで、今回は94GHz用薄膜スロットアンテナと点接触部を薄膜化したエッジ型ウォームキャリア素子とを組み合わせて同素子の薄膜化を行い、94GHzでのハーモニックミキシング実験を行ったので報告する。
- 1995-03-27
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