AFM微細探針によるKrFエキシマレーザー用化学増幅型レジストの付着力解析法

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概要

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レジストパターンに原子間力顕微鏡(AFM)の微細探針から荷重を加え破壊することで、パターン付着力を測定することができる。今回、KrFレーザー対応化学増幅型レジスト(線幅110∼240nm)のパターン付着力分布の簡便な定量測定法を新たに提案し、破壊要因を解析する。破壊パターンの累計の荷重依存性には閾値が存在するため、閾値荷重および不良パターン数からパターンの信頼性を評価できる。その場観察によりパターン破壊後の基板表面には残渣が観察されたためパターン自身が凝集破壊している事がわかる。さらに、付着力分布の高荷重側はパターン疲労に由来するばらつきが生じることを見出した。また、次世代材料であるArFレーザー対応化学増幅型レジストの付着力分布にも適用可能である。
社団法人電子情報通信学会の論文
1999-10-15

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