SmCo/Cr薄膜の磁気特性のSm組成比依存性と電力依存性
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概要
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SmCo / Cr薄膜におけるSmCo層作製時の組成比、スパッタガス圧およびスパッタ電力を変化したときの磁気特性について検討した。飽和磁化はSm添加量の増加とともに減少し、Sm組成比が約25at.%のときに保磁力が最大となった。SmCo / Cr薄膜の保磁力はスパッタガス圧およびスパッタ電力に対して依存性があり、スパッタガス圧8mTorr、スパッタ電力30Wの時に最大値約4.5kOeになった。このとき角形比並びに保磁力角形比はそれぞれ0.85, 0.96となる角形性の高い磁気特性が得られた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-03-06
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