バリウムフェライト薄膜の結晶性と磁気特性のターゲット組成比依存性
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概要
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Barium ferrite (BaM) thin films were prepared by facing-targets sputtering with several kinds of target compositions and their magnetic and crystallographic properties were studied. It was found that the temperature of BaM films to be crystallized with a stoichiometric target composition (i. e. Fe_2/Ba=6) was around 500℃, and that of those with target compositions of 5.5 and 5 was around 525 and 550 ℃, respectively.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 1999-04-15
著者
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