MIC形誘電体円柱共振器を用いた高温超伝導薄膜裏面の表面抵抗測定(ミリ波デバイス・回路・システム応用一般)
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概要
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高温超伝導(HTS)フィルタをマイクロストリップ構造で製作するとき、電磁界が誘電体基板内に閉じ込められ、HTS薄膜を流れる電流は誘電体基板とHTS薄膜裏面(誘電体基板と接する界面側)に集中する。このため、HTS薄膜の開発およびHTSフィルタの設計には、HTS薄膜裏面の表面抵抗R_<sb>の正確な値が必要となる。本報告では、誘電体円柱共振器を用いてR_<sb>を測定する新しい方法を提案し、その有効性を実証する。YBa_2Cu_30_7(YBCO)薄膜裏面についてR_<sb>測定を行った結果は、表面の値とほぼ一致した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-11-19
著者
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