融液成長ZnSe結晶の格子定数の絶対測定 : Zn分圧下でのその場熱処理による格子定数の変化

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概要

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• 高圧炉を用いたZn分圧制御融液成長ZnSe結晶のその場熱処理による格子定数の変化についてBond法による絶対測定により評価した.結晶温度T_<ZnSe>(A)=1000℃で熱処理した試料はas-grwon結晶の格子定数(0.566902±0.0000025nm)と比較した場合, 熱処理時のZn室温度が低い場合(T_<Zn>(A)<600℃)には格子定数は7x10^<-6>nm程度減少し, 高い場合(T_<Zn>(A)≧750℃)には格子定数が1.2x10^<-5>nm程増加した.またT_<Zn>(A)=450℃の試料では密度が減少し, 高抵抗な結晶となった.これらの結果からZn室温度が低い場合には結晶中のZn空孔の増加が主要因になり, 格子定数の減少が生じたと考えられる.

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1998-05-22

著者

• 鵜殿 治彦

  茨城大工

• 岡田 安正

  電総研

• 鵜殿 治彦

  茨城大学工学部電気電子工学科

• 菊間 勲

  茨城大学工学部電気電子工学科

• 鵜殿 治彦

  茨城大

• 岡田 安正

  茨城大学工学部電子技術総合研究所

• 鵜殿 治彦

  茨城大学工学部

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