シリサイド半導体の結晶成長とデバイス応用(結晶成長、評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))

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概要

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• 豊富な資源量の元素で構成されるシリサイド半導体は、材料を大量消費するエネルギー利用の分野において資源・環境リスクの面から優れたポテンシャルを秘めている。本稿では、我々が進めてきたβ-FeSi_2とMg_2Siの結晶成長技術と基本的な電気・光学特性、および熱電変換や熱光発電,赤外センサを目指したデバイス開発動向について紹介する。

• 一般社団法人電子情報通信学会の論文
• 2013-05-09

著者

• 鵜殿 治彦

  茨城大学工学部

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