コプレーナ導波路の新しい有限要素解析法の提案とLiNbO_3光変調器への応用
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概要
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本稿では、準静電近似によるコプレーナ導波路(CPW)の厳密な解析のため等角写像法と有限要素法を組み合わせた方法(FEM-CM)を新たに提案する。この解析方法を用いてTi:LiNbO_3光変調器のCPW進行波電極構造を最適設計する。SiO_2バッファ層や厚い電極を導入することにより光波とマイクロ波の位相速度整合および電極と電源のインピーダンス整合を同時に実現するCPW構造を探索する。また、CPW電極断面形状の変形による変調器特性への影響ついても議論する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-09-21
著者
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