半球面型Fabry-Perot共振器を用いた超電導ミリ波評価システム(II)

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概要

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• 高温酸化物超電導体のミリ波デバイスへの応用において、最も重要なパラメータである薄膜の表面抵抗Rsについて評価を行った。Rsの測定は、スパッタ法によりMgO基板上に作製した配向性の異なるTl系超電導薄膜について、半球面型Fabry-Perot共振器を用いて行った。表面抵抗の温度依存性は、c軸配向膜ではTc(=107K)近傍で急峻な表面抵抗の低下が確認され、101Kにおいて89mΩを得たが、無配向領域が11.7%含まれる超電導薄膜に関してはTc(=80〜90K)付近においても超電導特性は得られず、逆にTc以下の温度領域では表面抵抗の上昇が見られた。これらのサンプルは、直流測定においては共に超電導特性を示したが、ミリ波表面抵抗の測定においては配向性や膜の表面性の違いから異なった特性が得られた。したがって、高温酸化物超電導体のミリ波デバイスへの応用においては、薄膜の表面抵抗評価が重要であることを示唆している。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1995-04-26

著者

• 二木 一也

  三洋電機(株)筑波研究所

• 出原 敏孝

  福井大学工学部応用物理学科

• 善里 順信

  三洋電機(株) 筑波研究所

• 島岡 一博

  三洋電機(株)機能材料研究所

• 出原 敏孝

  福井大学工学部

• 根本 雅昭

  三洋電機(株) 筑波研究所

• 根本 雅昭

  三洋電機 筑波研究所

• 善里 順信

  三洋電機(株)筑波研究所

• 根本 雅昭

  三洋電機 筑波研

• 島岡 一博

  三洋電機(株) 筑波研究所

• 出原 敏孝

  福井大学工

• 二木 一也

  三洋電機(株)

• 善里 順信

  三洋電機(株)

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