水酸化ランタン共沈分離/誘導結合プラズマ発光分析法による炭化ケイ素中の不純物の定量
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概要
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ICP-AESによる炭化ケイ素粉末中の不純物の同時定量を目的とし,試料分解法とマトリックスからの不純物の分離法の検討を行った.試料は白金るつぼに採り,硝酸ナトリウム及び炭酸ナトリウムを混合し,450℃で6時間以上予備加熱した後,1000℃に昇温して融解した.予備加熱をすることによって発火,発泡による試料の損失,及びFeなどの元素が白金るつぼと合金化するのを防止することができた. 目的の不純物は水酸化ランタンを用いてマトリックスから大部分を共沈分離し,随伴する少量のケイ酸をフッ化物として完全に除去した後,IGP-AESで定量した.本法によると,炭化ケイ素中の主要な不純物であるAl,Fe,Ca,Mgなど15元素を同時定量できた.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1987-09-05
著者
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倉田 奈津子
福岡県工業技術センター機械電子研究所:(現)福罔県工業技術センター企画管理部
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古野 義一
福岡県工業技術センター機械電子研究所
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古野 義一
福岡県北九州工業試験場
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倉田 奈津子
福岡県北九州工業試験場
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原田 芳文
福岡県北九州工業試験場
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