水酸化ランタン共沈分離/誘導結合プラズマ発光分析法による高純度窒化ケイ素中の不純物の定量
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概要
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ICP-AESによって窒化ケイ素粉末中の微量不純物を迅速定量するため, 試料分解法とマトリックスからの不純物の分離, 濃縮法の検討を行った.試料は硝酸ナトリウムと炭酸ナトリウムの混合融剤を用いて白金るつぼ中で融解した.酸化性融剤で融解することによって, 窒化ケイ素中のFeなどの不純物が白金るつぼと合金を形成するのを防止することができ, 再現性の良い分析値を得ることができた.目的の不純物(12元素)は水酸化ランタンを用いて融剤及びケイ酸から共沈分離し, 沈殿を塩酸に溶解した後, ICP-AESで定量した.本法によると, AlとCrはやや低値を示す傾向があるが, Ca, Fe, Mgなどの窒化ケイ素中の主要な不純物を迅速に同時定量できる.更に高純度窒化ケイ素中の不純物の定量に応用し, 良好な結果を得た.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1990-01-05
著者
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