922 ポーラスシリコン薄膜の機械的特性の評価
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概要
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Porous silicon was examined as a material for micromachining. A micro resonator was fabricated with porous silicon membrane formed by anisotropic etching of a silicon wafer. The resonator was excited using a laser beam irradiation and the vibration was detected by measuring intensity fluctuation of He-Ne laser beam reflected on the resonator mass. The resonant frequency was determined from the resonant characteristics. Young's modulus was calculated using measured value of the resonant frequency.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2002-09-20
著者
-
原 民夫
Toyota Technological Institute
-
山口 直洋
Toyota Technological Institute
-
山口 直洋
豊田工業大学
-
原 民夫
豊田工業大学
-
小林 聡宏
アイシン精機
-
大澤 潤
豊田工業大学
-
Hara Tamio
豊田工業大学
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