2.プラズマ生成の基礎 : 2.6電子ビームによるプラズマ生成(<講座>プラズマ生成6)
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概要
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A brief review of plasma production by a low energy and high current electron beam is presented. The plasma source is able to steadily produce a high density plasma with a large diameter. This source will open a new way for low energy ion processing such as damageless ion etching and deposition.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1993-06-25
著者
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