電子ビーム励起プラズマ源(EBEP源)
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概要
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原子分子の電離・解離など多くの電子衝突反応が100eV付近に反応断面積の最大値を有しているが,この付近のエネルギーを持つ電子ビームを数A/cm^2もの大電流密度で引き出し可能な装置が電子ビーム励起プラズマ(EBEP)源である.ここでは,EBEP源の電子ビーム引き出しの原理と応用例について解説を行う.
- 2011-10-25
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