104 パルスプラズマによるDLC膜の合成(表面改質の技術と特性(2))(OS.10 表面改質の技術と特性)
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概要
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In order to improve wear resistance and adhesion between DLC films and substrates, the mechanical properties of the DLC films which were deposited on Si and SUS630 substrates have been investigated. It was found that not only the hardness but also the wear resistance of the DLC films were improved when the DLC film was prepared at voltage from between -7kV to -15kV, pulse duration of 20 μs and frequency of 10kHz using pulse plasma CVD system.
- 2001-03-09
著者
-
大竹 尚登
東工大
-
楊 旭東
東工大院
-
加藤 和典
湘南工科大学工学部
-
加藤 和典
東京工業大学工学部機械工学科
-
加藤 和典
湘南工科大学
-
黒田 俊久
東工大
-
加藤 和典
東工大
-
黒田 俊久
東工大院
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