430 ディスク基板検査のための複屈折分布計測法(光メカトロニクスII)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
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概要
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A disk substrate made from polycarbonate is expected to the next generation of hard disk. It is manufactured by injection molding process. There are serious problems such as warping of substrate and destruction of magnetic layer. Birefringence distribution is caused by flow of melted plastic, direction of molecule and residual stress. In this report, a disk inspection system is proposed to analyze a surface condition from the birefringence information.
- 2001-03-09
著者
-
吉澤 徹
東京農工大学工学部
-
大谷 幸利
宇都宮大学オプティクス教育研究センター
-
石塚 健一
東京農工大学
-
大谷 幸利
宇都宮大学core
-
石塚 健一
農工大工
-
大谷 幸利
農工大工
-
吉澤 徹
農工大工
-
管野 敏之
富士電機総合研究所
-
管野 敏之
富士電機
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