位相シフト実体格子型モアレ法による形状計測
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概要
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Precise profile measurement has been required in various fields such as industrial fields and medical fields. For such a request, a measurement method using moire technique has been proposed. In this research, for profile measurement of objects, shadow moire topography using phase shifting technique is proposed. However, in shadow moire topography, shifting phase of moire pattern regardless of fringe orders is not easy because fringe interval varies according to the fringe order. A trial to shift a phase constantly regardless of fringe orders is proposed by giving vertical movement and rotation to the grating. Availability of this technique is justified by a simulation test and some experimental results reveal the verification of this research.
- 1999-10-05
著者
-
吉澤 徹
東京農工大学工学部
-
大谷 幸利
東京農工大学工学部
-
金 蓮花
東京農工大学 工学部
-
大谷 幸利
東京農工大学大学院共生科学技術研究院
-
小寺 豊
東京農工大学大学院
-
小寺 豊
東京農工大学
-
大谷 幸利
宇都宮大学core
-
大谷 幸利
東京農工大学
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