106 Walking Driveを用いた送り装置の高精度化に関する研究 : オープンループ特性の改善(OS3 最新機械要素技術)
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概要
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The present paper presents a method to improve motion accuracy of a precision feed device driven with open loop control by means of 'Walking Drive', which has been developed by the present authors. Displacements of the contact block and voltages applied to the piezoelectric actuators are measured at the same time, and it is clarified that the motion error is caused mainly by the nonlinearity between the displacements and the voltages. Thus, the repeated learning control is applied to compensate the voltages, and a feed motion error of 300 nm under the open loop control is reduced to 58 nm by the compensation.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-11-20
著者
-
森脇 俊道
神戸大学
-
社本 英二
神戸大学
-
森脇 俊道
神戸大学大学院 自然科学研究科
-
森脇 俊道
神戸大学工学部機械工学科
-
西岡 宏之
三菱自動車工業
-
森脇 俊道
神戸大・工
-
森脇 俊道
摂南大
-
田口 敏彰
神戸大
-
田口 敏彰
神戸大学工学部
-
社本 英二
名古屋大 大学院
-
森脇 俊道
神戸大 工
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