ゾル-ゲル法による高配向性Li_2B_4O_7膜の作製
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概要
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Li_2B_4O_7 films, promising films for surface acoustic wave devices, were prepared by the sol-gel method using constituent metal alkoxides as starting materials. Li_2B_4O_7 films highly oriented along (122) plane were obtained on silicon; (100) and (111) single crystal substrates when acetic or hydrochloric acid was added to the coating solution, while no orientation was observed without acid.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1990-08-01
著者
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