ゾル-ゲル法による高配向ZnO薄膜の合成
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概要
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ZnO films were prepared on silica glass substrates by the sol-gel method from Zn(CH_3COO)_2・2H_2O-2-methoxyethanol solutions containing monoethanolamine (MEA) or diethanolamine (DEA). Smooth and transparent ZnO films were obtained by heating at temperatures from 200 to 500℃ for 10 min after each coating and finally at the same temperatures for 1h. The films prepared from coating solutions containing MEA were strongly oriented along the (002) plane. The effects of heating temperature and ethanolamines on the film morphology, grain size distribution and crystallographic orientation are discussed based on X-ray diffraction and scanning electron microscopy.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1996-04-01
著者
-
作花 済夫
京大化研
-
大山 正嗣
出光興産(株)研究開発部知的財産センター知的財産2課
-
横尾 俊信
京都大学化学研究所
-
作花 済夫
京都大学化学研究所
-
幸塚 広光
京都大学化学研究所
-
幸塚 広光
関大工
-
幸塚 広光
関西大 工
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