熱CVD法によるジルコニア膜合成時の堆積速度の推定

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

• Zirconia films were prepared by the CVD method using thermal decomposition of zirconium-tetra-i-propoxide with He gas under 20 kPa. The films on the substrate consisted of fine particles less than 1μm and were metastable tetragonal-zirconia. The maximum deposition rate was 6 nm/s at 673 K and a reactant gas concentration of 0.05 mol%. The profile of deposition rate was calculated using a simplified reaction and coagulation model. The calculated results showed a good agreement with the experimental data under the operating conditions of 673 K and 0.07 mol%. Deposition rates for the system used are estimated with this model.

• 1992-03-01

著者

• 中村 静夫

  石川工試

• 川西 琢也

  金沢大学工学部

• 林 良茂

  金沢大学工学部

• 中村 静夫

  石川県工業試験場

• 中村 静夫

  石川県工業試験場化学食品部

• 川西 琢也

  金沢大学大学院自然科学研究科 地球環境科学専攻

• 中村 静夫

  石川県工試

• 小松 利照

  花王(株)加工・プロセス開発研究所

• 竹内 昌史

  金沢大学工学部物質化学工学科

• 小松 利照

  花王(株)

関連論文

• 酸味に特徴を有する酵母の選抜と試験醸造
• 2G16 超電導薄膜の合成
• 休耕田土壌・植生ポットによる硝酸態窒素除去 : 浸透方式と表面流方式の違い、植生の有無の影響
• 湛水休耕田における炭素および窒素収支
• 食料供給に伴い環境に影響を与える窒素負荷量の推定
• 静岡県牧ノ原における茶園-水田連鎖系による窒素流出負荷低減効果の推定
• 能登珪藻土を用いた酸化脱臭触媒の合成
• ゾル・ゲルプロセスによる各種可視光応答型TiO_2積層膜の調製とその光触媒性能
• ゾル・ゲルプロセスによる可視光応答型TiO_2/V_2O_5/ITO積層膜の調製とそと光触媒性能
• ゾル ・ ゲルプロセスによる遷移金属イオンドーピングTiO_2膜の調製とその光触媒性能
• 石川県工業試験場の融雪機能付き太陽光発電システム (特集 太陽光発電フィールドテスト事例/大規模編:100kW)
• 3D18 ジルコニア酸素ポンプから得た基準ガスを用いる低濃度酸素ガスの測定
• 28a-YR-9 強弾性体GdP_5O_14の分域境界構造のAFM観察
• 1p-A-6 STM及びAFMによる強弾性体MP_5O_(M:La-Tb)の分域構造の観察
• 27a-ZC-10 強弾性体のSTM、X線回折及びESRによる分域の研究
• 30p-ZR-4 STMおよびESR-CTによる強弾性体の分域観測
• 酸味に特徴を有する酵母の選抜と試験醸造
• 炭素陰極を用いた電気分解による水素を利用した脱窒反応装置の速度解析
• 稲わら投入方法が土壌浸透水からの窒素除去に及ぼす影響
• 窒素酸化物-水溶液系の反応機構 : 吸収速度に及ぼすpHの影響
• 稲わらを利用した土壌浸透水からの窒素除去
• 磁界中の磁性体粒子充填層の透過特性
• 過酸化水素水処理のための四三酸化鉄磁性体による二酸化マンガン触媒の回収と再利用
• 有機物供給による土壌浸透水からの窒素除去に関する流れと混合過程のシミュレーション
• アルカリ性セルラーゼ生産菌 Bacillus sp. KSM-635の工業スケール培養における通気速度の影響
• (57)ビデオ撮影による授業の自己評価(第16セッション 教育評価・自己点検・評価システム(I))
• 47 卒業研究の達成度評価法 : 第2報,実施結果(教育評価・自己点検・評価システムI,第12セッション)
• フーリエ変換赤外分光光度計による AOT/isooctane 系逆相ミセル内水相の構造解析
• (103)金沢大学工学部物質化学工学科における導入科目への取り組み : 創成型教育を取り入れた専門科目への動機づけ(創成教育(V),第25セッション)
• 2I12-2 グリーストラップ回収油の微生物分解(環境浄化・修復・保全技術/環境工学,一般講演)
• 微量アクセプターを添加したPZT圧電セラミックスの圧電特性と構造特性
• 2D07 微量アクセプターを添加した PZT セラミックスの圧電特性と構造特性
• ムライト/ジルコニア複合材料の電気抵抗と関連特性
• La_Sr_xMnO_3の粉末合成と発電特性
• 一軸圧縮応力下でのジルコニア仮焼結体の緻綴密化と変形
• 地下水の硝酸態窒素濃度の上昇と農業生産--諸外国の研究事例のとりまとめと今後の課題
• 熱CVD法によるジルコニア膜合成時の堆積速度の推定
• 食品微生物の迅速検査
• 熱泳動CVD法によるジルコニア薄膜の作製 (CVD) -- (膜・表面処理)
• 物性の推算による汚泥凍結機構の検討
• (123)創成科目の達成度評価法の提案(第33セッション 創成教育(IV))
• 小規模分散型処理装置としての酸化池
• 有機酸・微量重金属混合系実験廃液の水酸化アルミニウムによる共沈処理 : シュウ酸・亜鉛混合溶液を例とした検討
• カラムによる脱窒過程^N/^N分別係数の測定
• 蒸気透過法によるアルコ-ルの濃度プロセスのモデル化 (モデル化の実装置への応用)
• 稲わらを利用した脱窒法 (水環境保全の新しい展開)
• 石川県工業試験場太陽光発電システムの計画・運用 (普及拡大への取り組みと展望) -- (Session6 公共施設への導入)
• 積雪寒冷地域における太陽光発電の利用可能性を探る--石川県工業試験場における事例から (特集 分散型エネルギー源の導入(2)太陽光発電の明日)
• 水-空気系 2 相流による直交流充填塔内の圧力損失と液ホールドアップ
• 5-1 ヘリコプターで植生を観る(エレクトロニクステクノロジーで環境を観る)
• 熱CVD法によるジルコニア膜合成時の熱分解反応速度定数
• 熱泳動CVD法によるジルコニア薄膜の作製
• 直交流カスケード型充填塔の操作特性
• 染色余剰汚泥の配合割合を高めた屋上緑化材用セラミックス多孔体の開発
• 大吟醸酒用少量発酵試験法の検討
• 同軸円筒型電極による活性汚泥の脱水分離
• 不均一電界を利用した活性汚泥の脱水分離　電極形状の改良:電極形状の改良
• 溶質輸送と脱窒とが同時に起こる有限のシステムによる見かけの同位体分別係数について
• タイトル無し
• 1044 軽量骨材コンクリートの表面結露(物性)
• 清酒の小仕込み試験における酒質, 特に有機酸生成に及ぼす影響因子

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク