金属アルコキシド法による鉛酸バリウム薄膜の合成プロセスの改良
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概要
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Synthesis process of the barium plumbate thin films by metal alkoxide method was improved to obtain the high quality films. The precursor solution was prepared using Ba metal and Pb(O^iPr)_2 as raw materials, and 2-methoxyethanol as a solvent. The perovskite thin films with flat surface were formed by firing the films at a temperature higher than about 450℃ immediately after coating the precursor solution on the MgO (100) substrate in the relatively dry atmosphere. The typical specific resistivity of films post-annealed at 550℃ was about 1.2×10^<-2>Ω cm.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1997-05-01
著者
-
桑原 誠
東京大学大学院工学系研究科
-
桑原 誠
東京大学大学院工学系研究科マテリアル工学専攻
-
高橋 誠治
九州工業大学工学部
-
関本 俊次
九州工業大学工学部
-
津曲 英樹
九州工業大学工学部
-
下岡 弘和
九州工業大学工学部
-
下岡 弘和
九州工業大学工学部物質工学科
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