30p-M-5 直接接着シリコンにおける界面の効果

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1993-03-16

著者

• 大山 忠司

  阪大教養

• 古川 和由

  東芝半導体事業部

• 大塚 穎三

  阪大教養

• 藤井 研一

  阪大教養

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