古川 和由 | 東芝半導体事業部

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概要

• 同名の論文著者
• 東芝半導体事業部の論文著者

関連著者

• 古川 和由

  東芝半導体事業部

• 大山 忠司

  阪大教養

• 大塚 穎三

  阪大教養

• 藤井 研一

  阪大教養

著作論文

• Siウエハ-の直接接着技術
• 30p-M-5 直接接着シリコンにおける界面の効果
• 27a-ZG-3 直接接着したシリコンにおけるサイクロトロン共鳴 II
• 30p-W-8 直接接着したシリコンにおけるサイクロトロン共鳴
• 直接接合されたSiウェ-ハの界面構造 (異種材料間の界面現象)

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