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直接接合されたSiウェ-ハの界面構造 (異種材料間の界面現象<特集>)
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日本金属学会の論文
著者
古川 和由
東芝半導体事業部
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直接接合されたSiウェ-ハの界面構造 (異種材料間の界面現象)
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