3p-BJ-14 a-Si へのイオン注入

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1978-03-10

著者

• 落合 勇一

  筑波大物質工

• 升田 公三

  筑波大物質工

• 工藤 博

  物理工

• 工藤 博

  筑波大数物

• 升田 公三

  筑波大学物質工学系

• 工藤 博

  筑波大学物理工学系

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