金原 粲: スパタリング現象; 基礎と薄膜・コーティング技術への応用, 東京大学出版会, 東京, 1984, x+234ページ, 21.5×15.5cm, 2,800円.

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1984-12-05

著者

• 箕村 茂

  北大理

• 箕村 茂

  北大 理

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