7a-B-4 Siへのイオン打ち込み

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1971-04-06

著者

• 村上 浩一

  筑波大学物質工学系

• 宮本 博

  大阪大学 基礎工学部

• 大場 信弥

  大阪大学 基礎工学部

• 村上 浩一

  大阪大学 基礎工学部

• 蒲生 健次

  大阪大学 基礎工学部

• 升田 公三

  大阪大学 基礎工学部

• 難波 進

  大阪大学 基礎工学部

• 升田 公三

  阪大工

• 升田 公三

  筑波大

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