29p-C-4 半導体ヘテロジャンクション界面の高分解能電顕による評価
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1986-09-12
著者
-
榊 裕之
東京大学生産技術研究所
-
市野瀬 英喜
東京大学工学系研究科
-
市野瀬 英喜
東京大学生産技術研究所
-
石田 洋一
東京大学生産技術研究所
-
鯉沼 秀臣
(独)科学技術振興機構 研究開発戦略センター
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