2a-Z-10 低エネルギー(1-3kv)イオン源の特性
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1982-03-15
著者
-
井上 信幸
京都大学
-
井上 信幸
東大工
-
内田 岱二郎
東大工
-
青木 振一
筑波大物理
-
堀江 明
筑波大物理
-
大川 和夫
筑波大物理
-
谷津 潔
筑波大物理
-
三好 昭一
筑波大物理
-
太田 完次
東大工
-
大川 和夫
筑波大学プラズマ研究センター
-
堀江 明
筑波大 物理
-
内田 岱二郎
日本真空
-
三好 昭一
東京理大 理
-
青木 振一
沼津高専
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