15a-M-7 大面積マイクロ波プラズマ源の特性とカスプ損失幅

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1993-09-20

著者

• 二瓶 仁

  東大工

• 森川 惇二

  東京大学新領域創成科学研究科

• 森川 惇二

  東大工

• 井上 信幸

  東大工

• 二瓶 仁

  東京大学

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