31a-YW-12 小口径プラズマ生成放電管を用いた大面積マイクロ波プラズマ源
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1995-03-16
著者
-
二瓶 仁
東大工
-
井上 信幸
東大工
-
二瓶 仁
東京大学
-
モズジュッチコフ マイケル
東大工
-
井 上信幸
東大工
-
Inoue Nobuyuki
Department Of Quantum Engineering And Systems Science Faculty Of Engineering University Of Tokyo
-
井上 信幸
東大工理
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