23pZN-5 極薄Si酸化膜の構造欠陥のパルスESR評価
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2000-03-10
著者
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山崎 聡
産総研ナノテク部門
-
山崎 聡
JRCAT-融合研
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磯谷 順一
筑波大図情
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磯谷 順一
図書館情報大
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山崎 聡
筑波大学 電子・物理工学専攻
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磯谷 順一
JRCAT-融合研
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山崎 聡
東芝メディカルシステムズ株式会社:jeita超音波専門委員会
-
山崎 聡
Jrcat(アトムテクノロジー研究体)-nair(産業技術融合領域研究所)
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