ピエゾ素子のシフト誤差を補正できる4画面位相シフト法
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概要
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- 社団法人精密工学会の論文
- 1997-08-05
著者
-
安達 正明
金沢大学理工学域
-
稲部 勝幸
金沢大学
-
安達 正明
金沢大学工学部
-
稲部 勝幸
金沢大学工学部
-
大杉 博人
大同工業(株)
-
川崎 修慈
金沢大学工学部
-
大杉 博人
金沢大学工学部
-
大谷 忠
東京農工大学農学部
-
喜多山 繁
東京農工大学農学部
-
八高 隆雄
横浜国立大学 大学院工学研究院
-
八高 隆雄
横浜国立大学
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