上下振動の影響を受けない高精度粗さ測定法(第1報) : オプティカルスキッド法の提案
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概要
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A novel optical profiling method is proposed, which is nearly insensitive to vertical vibrations and able to measure the roughness of supersmooth surfaces on a long track. This method makes simultaneous height measurements of both a measurement position and its surroundings, and perform subsequent digital subtraction of the latter from the former to obtain the roughness data. An instrument incorporated with this method is shown to have a height sensitivity of 0.1 nm under normal vibrational circumstance (O.4 cm/s^2). Data obtained from measurements of a disk substrate, a mirror, an optical fiat and a silicon wafer are included.
- 社団法人精密工学会の論文
- 1990-01-05
著者
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