投影パターンのコントラスト変化を利用した変位計測
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概要
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A system is developed and tested for the optical noncontact measurement of displacement which consists of a light source, an objective lens, quadrant patterns and quadrant photodiodes. The principle is based on the detection of contrast variation of projected pattern. In this system one axial method is adopted and such good characteristics are shown as are not influenced by color and inclination of the surface. The dynamic range in the measurement is 150 micrometers with vertical resolution of 1 micrometer. The principle of this method is verified with experimental tests and some applications are tried with good results.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1989-10-05
著者
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