水素プラズマによりシリコン酸化膜に導入される欠陥の電気的評価
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概要
著者
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池田 晃裕
九州大学大学院システム情報科学研究院
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藤木 千香
九州大学大学院システム情報科学研究科
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吉川 典朗
九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻
-
吉川 典朗[他]
九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻
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