水素プラズマ処理した薄いシリコン熱酸化膜の電気的特性
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概要
著者
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伊藤 昌和
九州大学ベンチャービジネスラボラトリー
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池田 晃裕
九州大学大学院システム情報科学研究院
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梅木 弘人
九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻
-
伊藤 昌和[他]
九州大学ベンチャービジネスラボラトリー
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