薄いシリコン熱酸化膜と熱酸化窒化膜の電気的特性

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概要

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著者

• 池田 晃裕

  九州大学大学院システム情報科学研究院

• 河野 和幸

  九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻

• 長嶋 秀策

  九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻

• 河野 和幸[他]

  九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻

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