放射光X線トポグラフィの進展
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27aRB-2 X線トポグラフィーによるイオン注入SiC単結晶の微細構造観察(27aRB 格子欠陥・ナノ構造(半導体・シミュレーション),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
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