キャラクタリゼーションを中心に : ICCG-11参加記(その2)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日本結晶成長学会の論文
• 1995-12-25

著者

• 川戸 清爾

  九州シンクロトロン光研究センター

• 川戸 清爾

  ソニー(株)中央研究所

関連論文

• 27aRB-2 X線トポグラフィーによるイオン注入SiC単結晶の微細構造観察(27aRB 格子欠陥・ナノ構造(半導体・シミュレーション),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
• シンクロトロン放射光によるX線回折画像計測技術の進歩
• 24aWX-2 放射光X線トポグラフィによるCZシリコン結晶ネック部の転位の三次元分布観察(24aWX 結晶成長,領域9(表面・界面,結晶成長))
• トポ・トモグラフィ技術を併用した放射光白色トポグラフィによる転位の3D構造決定
• 24pYS-12 放射光平面波X線を用いたgrown-in欠陥を含むシリコン結晶の回折強度曲線測定(X線・粒子線(X線),領域10(誘電体, 格子欠陥, X線・粒子線, フォノン物性))
• SPring-8におけるCZ-Si結晶中の転位の伝播挙動と三次元構造評価(半導体結晶成長III)
• Si単結晶インゴットのX線トポグラフィ : バルク結晶成長III
• イメージングプレートを利用した平面波X線トポグラフィによるシリコン単結晶の格子歪み解析
• キャラクタリゼーションを中心に : ICCG-11参加記(その2)
• 放射光X線トポグラフィの進展

スポンサーリンク