レーザー照射と電解エッチングを用いたアルミニウムの表面微細加工
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概要
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Microgrooves were fabricated on aluminum surfaces using anodizing, laser irradiation, and electrochemical etching. Aluminum specimens covered with porous type oxide films were irradiated with a pulsed Nd-YAG laser in distilled water to remove the anodic oxide film. The electrochemical etching of the laser-irradiated specimen in NaCl solution caused the formation of grooves with rough surfaces, while the electrochemical etching in CH3COOH/HClO4 solution caused the formation of grooves with flat surfaces. The width and depth of the grooves increased with electrochemical etching time. Mesh-like micro-patterns with 70μm line width and 30μm line depth were fabricated on aluminum surfaces by consecutive processes of anodizing, laser irradiation, and electrochemical etching.
- 2005-07-01
著者
-
菊地 竜也
北海道大学大学院 工学研究科
-
高橋 英明
北海道大学大学院 工学研究科
-
丸子 智弘
(株)フルヤ金属 研究開発部
-
菊地 竜也
Graduate School Of Engineering Hokkaido University
-
高橋 英明
Graduate School Of Engineering Hokkaido University
-
丸子 智弘
(株)フルヤ金属
-
高橋 英明
北海道大学 大学院工学研究科
-
菊地 竜也
北海道大学 大学院工学研究院
-
菊地 竜也
北海道大学
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